Mikrosystemtechnik

Microsystemtechnik

Die Mikrosystemtechnik macht unser Leben gesünder, sicherer, komfortabler, vielseitiger und nicht zuletzt einfacher. In den letzten Jahren hat die wirtschaftliche Bedeutung der Mikrosystemtechnik deutlich zugenommen. mw-headline" id="Methode_und_Anwendung">Prozess und_Anwendung[Edit | < Quellcode bearbeiten]

Mikrosystemtechnik (MST), in den seltensten Fällen auch Mikrosystemtechnik, ist eine Unterabteilung der Mikrotechnologie und befasst sich mit der Erforschung und Produktion von MSTs. So werden z.B. Mikromechanik- oder Mikrooptikkomponenten miteinander verbunden und mit Mikroelektronikschaltungen in einem aufwändigen Gesamtsystem eingebunden. Sensorik, Aktorik und Informationsverarbeitung interagieren in der Mikrosystemtechnik.

Um komplexe Marktsegmente zu erschließen, werden Prozesse und Techniken aus verschiedenen Mikrotechnologien miteinander verknüpft. Hierzu gehören die Bereiche Mikrophysik, Microfluidik und Microoptik (Sensoren, Aktoren) sowie die Mikroelektronik (Datenverarbeitung, Elektronikschnittstellen). Dabei sind die eingesetzten Herstellungsverfahren sehr unterschiedlich; neben den klassischen Dünnfilmtechniken kommen auch Abdrucktechniken (z.B. LIGA), Ätzverfahren etc. zum Einsatz.

Zu den typischen Anwendungsgebieten gehören Sensorik und Aktorik in den verschiedensten Branchen wie z. B. der Elektro-, Verkehrs- und Medizinaltechnik. Darüber hinaus werden vorhandene Verfahren aus anderen Gebieten (Informatik, Bio- und Nanotechnologie) integriert und zu neuen Verfahren zusammengeführt. Zur Unterscheidung von funktionsdefinierenden Struktur und Nanotechnik werden die Dimensionen im µm-Bereich angesiedelt.

Einen marginalen Bereich der MST bildet die Mikroreaktionstechnik, die sich mit physischen und/oder biologischen Vorgängen befasst, die in Mikrostrukturapparaten stattfinden. In Bezug auf den Begriff Mikrosystemtechnik gibt es in der englischen Fachliteratur keine eindeutige Abgrenzung. In Europa wird beispielsweise der Begriff Mikrosystemtechnik (MST) am häufigsten verwendet. Dagegen werden in den USA die Bezeichnungen Micro-Electro-Mechanical Systems und Micro-Opto-Mechanical Systems oder deren einprägsame Kürzel MEMS und MOEMS verwendet.

Microsystemtechnik

Die Schrift "Mikrosystemtechnik I" kann im KSC (S3|06/151) für 6 Euro erstanden werden. Ziel des Kurses ist es, die Struktur und das Funktionieren von Marktsystemen wie z. B. Marktsensoren, Mikroaktuatoren, mikrofluidische und mikrooptische Bauteile zu erlernen. Anhand von exemplarischen Übungen wird der Aufbau von Systemen anhand von Mikroproduktionsprozessen erläutert.

Der Lehrgang Mikrosystemtechnik V2+Ü1 richtet sich an Studenten der Fachrichtungen Elektro- und Informationstechnik und Maschinenbau (ETIT). Es ist als Schwerpunktfach im Studiengang Mechatronik sowie als Wahlfach in einigen Studiengängen des ETI, vor allem in der "Mikro- und Feinmechanik (MFT)", gedacht und kann ab dem fünften Semester, bevorzugt im siebten Semester, absolviert werden.

Das Masterstudium "Mikro- und Feinmechanik (MFT)" ist ein Pflichtfächer und kann ab dem ersten Semester absolviert werden.

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